뉴바이오텍
개발장비
10년
부대장비(부가장치)
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비 (주장비: EPN0025137)
2013.12.02.
₩40,659,000
기관의뢰
고정형
시간별
₩8,000
1. 이 장비는 노광 후 현상, 에칭 및 STRIPPING 하는 장비로 필요 없는 부분을 없애 버리는데 사용하는 장비임
2. 기판표면에 묻어 있는 유기, 무기오염물등을 세정한다.
3. 기판상의 잔류 PR을 식각 제거하고 패턴을 형성하도록 한다.
1. MAE Bath 1조
2. 현상 1조
3. 세정 2조 (QDR Bath : 스프레이, 오버플로우, 순환방식 )
4. 알카리 Bath 1조
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