마이다스시스템
MDA-600MS
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2014.05.21.
₩177,565,220
기관의뢰
고정형
시간별
₩28,000
Photo Lithography 공정을 수행하는 시스템으로서 Wafer 및 기타 Substrate 위의 다양한 물질에 Pattern을 형성시키는 것을 목적으로 한다. Substrate 위에 Resist라는 Polymer 물질을 도포한 후 Pattern의 원판 역할을 하는 Mask를 이용하여 빛을 투과시키면 Resist는 광에 반응한다. 이후 현상하여 Resist Pattern을 형성한 후 이 Resist를 Barrier로 Substrate를 Etching하여 최종적으로 원하는 Pattern을 구현하는 시스템이다.
장비구성
1. Light Source Module
2. Top Side Microscope Module
3. Stage and Controller Module
4. Accessories