SURFCOM
NEX001SD-13
10년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2020.07.14.
₩23,980,000
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
₩7,000
조도 측정, 윤곽 형상 측정, 조도 윤곽 통합 측정의 3 가지 기능을 지원하고 있어, 용도에 따라 검출기를 자유롭게 선택할 수 있는 멀티센서 사양의 장비입니다. 추후에 다른 검출기를 추가하는 것도 가능합니다 .
- Z1축(검출부) 측정범위 : 1000 ㎛
- Z1축(검출부) 측정유닛 : 차동 인덕턴스
- Z1축(검출부) 분해능 : 0.1 ~ 20nm
- 진직도 : (0.05+0.001L)㎛ L=구동길이(mm)
- 측정력 : 0.75mN
- 스타일러스 팁 형상 : 60°, 2㎛R, 다이아몬드
- X축(구동부) 측정범위 : 100 mm
- Z1축(검출부) 분해능 : 0.1~20nm
- 진직도 : (0.05+0.001L)㎛ L=구동길이(mm)
- 측정력 : 0.75mN
- 스타일러스 팁 형상 : 60°, 2㎛R, 다이아몬드
- X축(구동부) 측정범위 : 100 mm
- 측장유닛 : 고정도 리니어 엔코더(X축), ABS 리니어 엔코더(Z2축)
- 분해능 : 0.016㎛(X축)
- Z2축(컬럼) 이동범위 : 450 mm
- 구동속도 : 0.03~60mm/s
- 측정속도 : 0.03~20mm/s