레이저응용기술센터

1. 주요성능
-분해능: 3.0nm at 30kV
-배율 : x15~x300000
-가속전압: 1kV ~ 30kV
2. 전자 총
-텅스텐(W) 필라멘트 카트리지 교환 방식
3. 렌즈 구성
-집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈
-대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈
-비점장치 : 8극 전자기장 형
-Aperture Type: Variable Aperture(3050100200um)
-Working Distance : 5~50mm
4. 전자 수집 (Detector mode)
-2차 전자(Secondary Electron Detector) / E-T Detector Type
-후방산란전자(Back scattered electron Detector) / Semiconductor Type
5. 스테이지 시스템(모터 5개 사용)
-Working Distance : 5~60mm
-X축 이동거리: 40mm [모터사용]
-Y축 이동거리: 60mm [모터사용]
-Z축 이동거리: 5 ~ 60mm [모터사용]
-Tilt축 : 20~90도 [모터사용]
-Rotation: 360도 [모터사용]
-최대 샘플 크기: 160mm[Diameter] 60mm[Height]
6. 영상이동 : XY - Beam Shift ±50um