보유장비현황
- 보유장비현황
- 마이크로나노위치제어 시스템
- Micronano Positioning System
- i-Tube No. 1308-A-0139
- NTIS No NFEC-2013-12-184416
- 설치기관 경북대학교 산학협력단
- 주소 대구 북구 산격3동 경북대학교
- 담당자 이종훈 (T.053-219-0408)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
에스엠텍
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모델 명
모델명 없음
내용연수11년
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구분
부대장비(부가장치)
용도생산
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 자동화/이송장비 > 위치제어장비 (주장비: EPN0036366)
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취득일
2013.08.08.
취득금액₩258,759,400
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩75,000
장비설명
-마이크로/나노급의 정밀한 위치제어가 가능한 위치제어 시스템
-고출력펨토초 레이저를 XYZ 스테이지와 포커싱 헤드 또는 갈바노 미터를 통하여 수 마이크로의 선폭으로 가공
-동축 CCD를 장착하여 실시간으로 가공부를 표시
장비 구성 및 성능
1) System Control : XYZ,rotationaxis Galvo sycronization for 2D, 3D & tube
2) Stage Unit. : Stroke 300 mm, Accuracy +/- 0.5 um, Repeatability +/- 0.5 um, Maximum speed 2 m/s
3) Optical Table : Size : 2000 × 1500 × 800mm
4) Focusing Head and Vision Unit : Vision Zoom 6x ratio, 1.3 meag 2/3 inch CCD Camera
5) Galvanometor Unit. : Mirror Coating 800nm, Typecal scan angle +/- 0.25rad
6) Beam Delivery Unit
7) Standard Accessories Unit & Spare Parts
8) Control Panel Unit.