보유장비현황
- 보유장비현황
- 마이크로모션스테이지세트
- Micro Motion Stage Set
- i-Tube No. 1308-A-0140
- NTIS No NFEC-2013-11-184149
- 설치기관 경북대학교 산학협력단
- 주소 대구 북구 산격3동 경북대학교
- 담당자 이종훈 (T.053-219-0408)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Aerotech
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모델 명
PRO165LM
내용연수11년
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구분
부대장비(부가장치)
용도생산
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 달리 분류되지 않는 광파발생/측정장비 (주장비: EPN0036312)
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취득일
2013.08.08.
취득금액₩97,691,680
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
기타
장비 사용료₩38,000
장비설명
초정밀 레이저 가공시스템에 사용되는 시편 이송장치로서 서브마이크로급 해상도와 반복정밀도를 구현하여 X-Y축 방향의 초정밀 제어 뿐만 아니라, Z축 방향까지 포함하는 3축 초정밀 이송이 가능하도록 하는 장치
장비 구성 및 성능
1) XY-Stage
- Travel: 300mm 이상
- Drive System: Linear Brushless Servomotor
- Accuracy: +/- 2.0 μm 이하
- Resolution: 250 nm 이하
- Maximum Load: 45.0 kg 이상
- Repeatability: +/- 0.75 μm 이하
- XY stack Speed: 500 mm/s 이상
2) Z-Stage
- Travel: 200mm 이상
- Drive System: Super Precision Ground Ball Screw Brushless Servomotor
- Accuracy: +/- 1 μm 이하
- Maximum Load: 25.0 kg 이상
- Repeatability: +/- 0.5 μm 이하
- Travel Speed: 115 mm/s 이상