보유장비현황
- 보유장비현황
- 전계방사형 주사전자현미경
- Field Emission Scanning Electron Microscope
- i-Tube No. 1809-A-0143
- NTIS No NFEC-2018-10-246549
- 설치기관 (재)강원테크노파크
- 주소 강원 춘천시 신북읍 율문리 946 (재)강원테크노파크
- 담당자 김덕 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Carl Zeiss
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모델 명
GeminiSEM 300
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2018.09.14.
취득금액₩421,314,460
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩70,000
장비설명
○ 시료의 표면분석(Topography, Morphology, Composition, Crystallography) 및 성분분석(EDS 활용)
○ 광물, 원료, 소재에 대한 시험, 분석, 평가 및 시험성적서발행
○ Schottky Field emission type Gun이 장착
○ In lens type Schottky field emission Gun을 통해 높은 Probe current를 안정적으로 시료에 인가하여 동시에 다량, 다종의 원소에 대한 정성, 정량 분석 작업
○ 200nA 이상의 Probe current 인가가 가능하여 미량의 활성물질을 함유하는 세라믹필터, 금속/탄소섬유 composite 등의 미소 영역에 대한 분석가능
○ 대 구경 Active area(50mm2) SDD Type EDS와 64 bit Processor를 통해 미지의 시료 내 원소에 대한 실시간 정성, 정량 분석이 가능하여 시료의 개재물 및 불순물 분석 결과 파악
○ 광학현미경과 전자현미경 이미지의 상호 좌표공유 및 자동으로 위치 전환 및 시료 내 같은 위치의 광학현미경 이미지와 전자현미경 이미지 오버레이 가능
장비 구성 및 성능
○ Resolution: 0.8nm at 15kV, 1.4nm at 1 kV(without stage bias)
○ Acceleration Voltage: 0.02-30 kV
○ Probe Current: 3 pA up to 20 nA
○ Magnification: 12 – 2,000,000 ×
○ Electron Emitter: Thermal field emission type, stability better than 0.2 %/h
○ Detectors included in Base System: Inlens Secondary Electron detector, Everhart Thornley Secondary Electron detector, High efficiency VPSE detector (included in variable pressure option)
○ Specimen stage: 5-axes motorized eucentric specimen stage:
X = 130 mm, Y = 130 mm; Z = 50 mm, T = -3° to 70°, R = 360° (continuous)