보유장비현황
- 보유장비현황
- 고성능 3D X-ray 표면분석기
- High Resolution 3D X ray Microscope
- i-Tube No. 2006-A-0123
- NTIS No NFEC-2020-07-263528
- 설치기관 (재)FITI시험연구원
- 주소 서울특별시 강서구 마곡중앙8로3길 79마곡동 778-1
- 담당자 서동완 (T.)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
ZEISS
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모델 명
Xradia 510 Versa
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 방사선발생/측정장비 > X-선발생기
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취득일
2020.06.24.
취득금액₩1,152,410,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩150,000
장비설명
고성능 3D X-ray 표면분석기는 고해상도의 삼차원 이미지를 제공하는 비파괴 표면 분석기로 시료에 인장(Tension) 혹은 압축(Compression) 등의 응력(Stress)을 인가하여 내부 변형을 실시간 관찰할 수 있는 장치로 구성 되어 있음
○ Spatial Resolution 700nm 이하의 고해상도
○ In-situ 실험 장치: Tension과 Compression 500N 이상
장비 구성 및 성능
- Detail visibility: 150nm 이하 또는 Minimum Achievable Voxel: 70 nm 이하
- X-ray 검출기: 2,880 X 2,880 pixel flat-panel 1개 이상 또는 04.배, 4배, 20배, 40배 대물렌즈가 장착된 2k X 2k pixel noise suppressed CCD(Charge-Coupled Device) 4개 이상
- Bit depth: 16 bits 이상
- X-ray source:
Open type의 경우는 반사 튜브 Voltage 225kV이상, 320W 이상, 투과 튜브 190kV이상, 80W이상
Sealed type의 경우는 투과 튜브 160kV 이상, 10W 이상
- Radiation Safety: 1 μSv/hr 이하(measured 25 mm above surface of enclosure)
- X-ray 필터 수: 12개 이상
- Sample stage, Load Capacity: 25 kg 이상
- Sample stage Travel, X, Y, Z: 50 mm, 100 mm, 50 mm 이상
- Sample stage Travel, Rotation: 360°
- In-situ system: Tension과 Compression 500N 이상