공동활용장비
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- Stage-Switchable Precision Mask Aligning System 가동중 스테이지 교체형 고정밀 마스크 얼라이너 시스템
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i-Tube No.1305-C-0282
NTIS NoNFEC-2014-05-187512
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설치기관한국기계연구원
주소대전광역시 유성구 가정북로 156 (장동, 한국기계연구원)
담당자장성환 (T. 042-868-7793 )
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
마이다스시스템
개발장비
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2013-05-27
200,000,000원
고정형
시간별
63,000원
동 장비는 365nm, 405nm 급의 UV LED 노광 모듈 및 스테이지 경사각 조절 기능을 갖춘 리소그래피용 마스크 얼라이너임. LED 노광 모듈 및 스테이지 경사각 조절 기능을 통해 쾌속 공정으로 고종횡비 구조물 및 경사 구조물 제작에 적용 가능함
1. LED 노광 모듈
- UV-LED light source module 교체형
- Wavelength : 365nm & 405nm
- Max. Intensity : > 15 mw/cm2
- Max. Beam Size : 6.25” x 6.25”
- Beam Uniformity : ≤ ±5%(6”)
2. 교체 스테이지 모듈
- 1kW UV Lamp & power supply
- Wavelength : 300~400nm
- Intensity : 50mW/ cm2
- Exposure time 0.1sec ~ 999.9Hour
- 경사노광 : 1~110° (1°단위 조정 가능)
동 장비는 365nm, 405nm 급의 UV LED 노광 모듈 및 스테이지 경사각 조절 기능으로 인하여, 쾌속 공정으로 경사진 고종횡비 구조물 제작에 광범위하게 적용 가능할 것으로 예상함
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