공동활용장비
- HOME
- 장비검색
- 공동활용장비
- Thin-film composite fine shape measurement equipment 가동중 박막복합미세형상 측정장비
-
i-Tube No.1312-F-0121
NTIS NoNFEC-2014-04-186859
-
설치기관(재)충남테크노파크
주소충청남도 천안시 서북구 직산읍 직산로 136
담당자이종택 (T. 041-901-9035 )
매뉴얼다운로드
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
퓨쳐싸이언스
SO4-5100
10년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2013-12-19
310,000,000원
원
박막두께 및 면저항 측정, 대면적 박막 모듈의 결함 부위 미세 형상 측정, 막 두께 및 면저항 등 박막의 다양한 표면 특성 및 전기적 특성을 평가하는 장비, 최대 샘플 크기 가로 1200mm, 세로 1500mm 범위에서 사용자 설정에 의한, 박막 두께 및 면저항 측정과 3D Microscope 이미지 측정이 가능
1. Confocal Laser Microscope
- 광원 : 405nm 이하 레이저 (LD타입) - 검출시스템 : Twin 컨포칼 시스템 - 검사가능배율 : 110X부터 17,000X 이상, (광학줌1~8배 지원)
2. Resistance 4-Point Prober
- 소재 : Tungsten - 측정범위 : 1 mΩ/sq ~ 1 GΩ/sq
태양전지의 표면 형상 또는 길이 깊이를 측정, 박막 두께 측정시 비접촉, 비파괴 방식을 이용하여 높은 재현성을 구현, 다층 구조의 측정과 2D, 3D mapping data를 쉽고 빠르게 획득
1. Confocal Laser Microscope
- 광원 : 405nm 이하 레이저 (LD타입) - 검출시스템 : Twin 컨포칼 시스템 - 검사가능배율 : 110X부터 17000X 이상 (광학줌1~8배 지원)
2. Resistance 4-Point Prober
- 소재 : Tungsten - 측정범위 : 1 mΩ/sq ~ 1 GΩ/sq
챗봇