노광된 PR의 현상 및 Pattern 제작을 위한 에칭 작업 라인
-input-
- DEVELOPER ZONE에 FILM이 진입하기 위해 대기하는 ZONE
- 구동 방식은 FBL MOTOR COUPLING 직결 방식이다.
- 회전속도는 17~600mm/sec Touch Panel에서 조작가능하다.

1-2 장치의 구성 설명 (DEVELOPER)
- DEVELOPER ZONE 은 투입된 FILM 을 현상하는 ZONE으로
FILM이 투입되면 CONVEYOR구동과 동시에 노즐분사로 현상이 진행된다.
- ZONE 구성은 CONVEYOR UNIT과 NOZZLE UNIT으로 구성된다
- 구동 방식은 FBL MOTOR COUPLING 직결 방식이다.
- 회전속도는 17~600mm/sec Touch Panel에서 조작가능하다
1. 장비 구성
.

1-3 장치의 구성 설명 (SHOWER)
- SHOWER ZONE은 DEVELOPER 공정 후 FILM에 묻어있는 약액을
DI SHOWER하는 구간으로 CONVEYOR구동과 동시에 노즐분사로 SHOWER가
진행된다.
- ZONE 구성은 CONVEYOR UNIT과 NOZZLE UNIT으로 구성된다
- 구동 방식은 FBL MOTOR COUPLING 직결 방식이다.
- 회전속도는 17~600mm/sec Touch Panel에서 조작가능하다.

1-4 장치의 구성 설명 (AIR KNIFE)
2 AIR KNIFE UNIT : FILM 건조
- SHOWER ZONE의 SHOWER 과정이 끝난 FILM의 DI를 제거하는 ZONE이다.
구성은 CONVEYOR UNIT과 2SET의 AIR KNIFE로 구성된다.
1열 AIR KNIFE에서 큰 물기를 건조시키고,
2열 AIR KNIFE에서는 나머진 잔 물기를 건조 시킨다.
- 구동 방식은 FBL MOTOR COUPLING 직결 방식이다.
- 회전속도는 17~600mm/sec Touch Panel에서 조작가능하다.

1-5 장치의 구성 설명 (BUFFER)
- DEVELOPER 공정이 끝나고 ETCHING ZONE 진입 전 대기 ZONE
- DEVELOPER 공정 후 검사 or DEVELOPER 공정없이 바로 ETCHING ZONE으로
투입하기 위한 ZONE
- 구동 방식은 FBL MOTOR COUPLING 직결 방식이다.
- 회전속도는 17~600mm/sec Touch Panel에서 조작가능하다.

1-6 장치의 구성 설명 (ETCHER)
- ETCHER ZONE 은 투입된 FILM 을 ETCHING하는 ZONE으로
FILM이 투입되면 CONVEYOR구동과 동시에 노즐분사로 ETCHING이 진행된다.
- ZONE 구성은 CONVEYOR UNIT과 NOZZLE UNIT으로 구성된다
- 구동 방식은 FBL MOTOR COUPLING 직결 방식이다.
- 회전속도는 17~600mm/sec Touch Panel에서 조작가능하다.
10인치급 플렉시블 기판에 20um 이하의 패턴 형성하기 위한 현상, 에칭 및 박리를 균일하게 실행하기 위함. “플렉시블 디스플에이用 5mm 곡률을 가지는 플렉시블 터치센서 개발” 국책 샘플 제작 및 Touch window / Display 관련 개발 샘플 대응에 사용 하고자 함.