칼코제나이드 박막태양전지 물질로 사용되는 CZTS나 CIGS의 경우, 셀렌화를 위해서 셀레늄 분위기에서 열처리를 해야할 필요가 있는데, 상기 장비는 진공챔버에서 셀레늄 분말이나 펠렛을 가열하여 기화시킨 상태에서 박막기판을 열처리함으로써 고품위의 셀렌화막을 얻는 것을 목표로 하는 장비임.
장비는 진공챔버, 진공펌프, 컨트롤 박스, 진공 게이지, 전원, 전압공급장치, 안전장치 등으로 구성되어 있으며, 보자 자세히는 진공챔버는 기판홀더, 기판히터, 원료공급장치, 원료공급히터, 내부오염방지용 커버, 윈도우 등으로 구성되어 있음. 성능은 10-6 Torr의 진공도까지 30분 이내에 도달할 수 있고, 열처리 온도는 섭씨 600도까지 가능하며, 원료공급장치는 저온용 셀로 300도까지 가능함.
셀레늄이 들어가는 대부분의 박막의 열처리에 활용할 수 있음. 예를 들어, 박막태양전지, 메모리소자, 열전소자 등의 열처리에 활용할 수 있음. 또한, 셀레늄을 기타 원료로 대체할 경우, 일반적인 열증착기 및 진공 분위기 열처리 장비로 사용할 수 있음.