공동활용장비
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- Display spin-coater 가동중 디스플레이 기판 박막스핀코터
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i-Tube No.1311-C-0009
NTIS NoNFEC-2014-01-184765
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설치기관한국기계연구원
주소대전광역시 유성구 가정북로 156 (장동, 한국기계연구원)
담당자최준혁 (T. 042-868-7817 )
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
대기하이텍
LT-SS SC370
5년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-11-06
67,000,000원
직접사용
고정형
기타
100,000원
회전력으로 수직하방 압력이 작용하게 되며 이 힘으로 박막두께를 100nm 이하로까지 낮출 수 있음. 스핀코팅은 이미 오래전 박막증착 메커니즘으로 잘 알려져 있음. 본 대면적 스핀코터는 lock-type 으로 챔버가 같이 돌면서 와류에 의한 edge 부분 비균일성을 없애면서, 저속에서 초박막 두께 구현이 가능하고, 대면적 균일성을 확보할 수 있는 장비이다.
- Substrate : 200mm*200mm ~ 370m*470mm square glass - glass loading : manual loading -spin chuck, glass, cover 동시 회전 방식 - coating uniformity: +-3% at 1um coating (glass edge 10mm 이내), RPM = 500~2000 (max) 가능
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