공동활용장비
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i-Tube No.1310-F-0088
NTIS NoNFEC-2013-11-183935
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설치기관에스케이넥실리스 주식회사
주소경기도 수원시 장안구 정자로 102
담당자이정길 (T. 052-233-0251 )
매뉴얼다운로드
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
정보없음
ET-200
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2013-10-15
60,500,000원
원
동 장비는 탐침식(접촉식) 두께 / 거칠기 측정기로,
Z축 분해능 0.1nm 의 매우 정밀한 측정이 가능하며,
검출기 내에 내장된 CC camera로 측정중 샘플 표면이 가능한 장비임
표면 형상 측정 항목
단차(두께,깊이),피치(폭),표면 조도 등
측정범위 Z축: 600 μm X축: 100 mm
진직도 0.2μm/100mm이하
측정력 1mg-50mg(10uN~500uN)
분해능 Z축: 0.1nm
측정물 크기 φ160 × t 48 mm
스테이지 크기 φ160
스테이지경사 조절 ±2(X,Y수동)
스테이지 최대적재무게 2kg
1) 기구적인 기능 향상이 요구되는 곳
- 거울 렌즈 등의 표면 거칠기
2) 접착력 향상이 요구되는 곳
- 표면 거칠기에 따른 접착력 예상
3) 내식성 향상이 요구되는 곳
- 도금 부분의 표면 거칠기 특성
4) 외관 향상이 요구되는 곳
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