공동활용장비
- HOME
- 장비검색
- 공동활용장비
- Scanning Electron Microscope 가동중 주사전자현미경
-
i-Tube No.1311-A-0044
NTIS NoNFEC-2013-11-183896
-
설치기관경북대학교 산학협력단
주소대구광역시 동구 동내로 70 (동내동, 3D융합기술지원센터)
담당자이종훈 (T. 053-219-0408 )
매뉴얼다운로드
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
코셈
CX-200TA
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2013-11-06
89,650,000원
기관의뢰
고정형
건별
[Hr] 37,000원
*SE 및 BSE전자를 영상신호로 변환하여 um이하의 크기를 측정
*최대 300000배의 고 배율을 관찰 가능
*EDS.BSE와 같은 추가적인 디텍터 를 붙여 후방산란전자 이미지 관찰 시료성분분석과 같은 작업을 수행
1. 주요성능
-분해능: 3.0nm at 30kV
-배율 : x15~x300000
-가속전압: 1kV ~ 30kV
2. 전자 총
-텅스텐(W) 필라멘트 카트리지 교환 방식
3. 렌즈 구성
-집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈
-대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈
-비점장치 : 8극 전자기장 형
-Aperture Type: Variable Aperture(3050100200um)
-Working Distance : 5~50mm
4. 전자 수집 (Detector mode)
-2차 전자(Secondary Electron Detector) / E-T Detector Type
-후방산란전자(Back scattered electron Detector) / Semiconductor Type
5. 스테이지 시스템(모터 5개 사용)
-Working Distance : 5~60mm
-X축 이동거리: 40mm [모터사용]
-Y축 이동거리: 60mm [모터사용]
-Z축 이동거리: 5 ~ 60mm [모터사용]
-Tilt축 : 20~90도 [모터사용]
-Rotation: 360도 [모터사용]
-최대 샘플 크기: 160mm[Diameter] 60mm[Height]
6. 영상이동 : XY - Beam Shift ±50um
챗봇