- Cu/Zn/Sn 금속 전구체 가압 셀렌화 및 황화 동시 열처리 장비
- CuZnSnSSe (CZTSSe) 화합물 태양전지 흡수층 제작시 흡수층 내 Se/S 조절
- Se 금속 소스를 이용한 셀렌화 및 H2S 가스를 이용한 황화 처리
- 밀폐형 열처리 공정 RTP 시스템
- Process Chamber Module
1> Material : AL6061
2> Top Quartz Window: ≥ 300, 15t
3> Quartz Inner Chamber with Se Tray ; Se 기화시 측면 오염 및 튐 방지 구조
4> Gas Inlet Port with Flooring Bed with Vent Connection
5> Guide Rod & Sustaining Zig, Cover
- Quartz Susceptor Holding Port
- Quartz Susceptor :100 X 100 mm
- Quartz Susceptor :9ea(25X25mm)
- TC Feedthrough
6> Water cooling Plug
7> Pumping Port : NW25
8> Lift Up/Down
9> Hard anodizing

- Furnace Module
1> Top RTA Halogen Furnace
- 200mm Heating Zone
- Quartz Susceptor Sensing :
- Heater Cover with Insulator & Mounter
- Ni Coated Copper Heater Bracket
- Inner Cooling Water Tube - SUS with Bulk Head
2> Temperature Controller #1
- Programmable Controller : 데이터 저장
- Power Supply Module with Trans.
- I/V meter
3> Temperature Control SCR
- PID Controller
- Power Supply Module with Trans.
- I/V meter
4> Cooling Control
- Forced Air Coolng to Halogen Lamp
5> Tray Heater
* 밀폐형 셀렌화 및 황화 급속 열처리 시스템(selenization and sulfurization closed rapid thermal system) 사용예
- 금속 전구체 황화 및 셀렌화 열처리