공동활용장비
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- Ion Slicer 가동중 TEM용 시편제조기
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i-Tube No.1310-B-0068
NTIS NoNFEC-2013-10-183648
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설치기관한국전자기술연구원
주소경기 성남시 분당구 야탑동 68
담당자조용남 (T. 031-789-7494 )
매뉴얼다운로드
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
JEOL
EM-09100 IS
3년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 달리 분류되지 않는 화합물 전처리 분석장비 >
2013-10-14
127,970,591원
기관의뢰
300,000원
TEM용 시편제조기 (Ion Slicer)는 박막과 분말 시료의 TEM 측정을 위하여 Ar ion milling으로 얇은 시편을 제조하는 장비임
특히 이차전지 소재로 사용되는 분말시료의 단면시편제조가 가능한 장비임
o Ion accelerating voltage : 1 ~ 8 kV
o Tilt angle : up to +/-6 o (0.1 o step)
o Beam diameter : 500 um (FWHM)
o Milling rate : 5 um/min (at 8 KV, silicon)
o Gas for beam irradiation : Argon
o Pressure measurement : Penning guage
o Main evacuation system :
Turbo-molecular pump
o CCD camera : built-in
o 이차전지 양음극 소재의 단면시편제작을 통한 TEM 분석
o 박막시료의 단면시편제조
o FIB로 제작한 단면시편의 추가 milling을 통한 시편 제조
o 짧은 milling 시간으로 저손상의 시편제조
Ar 이온을 source로 하여 Masking belt를 착용하여 TEM 측정을 위한 시편을 만드는 장비임
시료의 두께는 100~50nm 정도임
분말과 박막 시료 모두 시편 제조가 가능
챗봇