공동활용장비
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i-Tube No.1306-D-0149
NTIS NoNFEC-2013-10-183632
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설치기관이엘케이(주)
주소대전 유성구 관평동 687번지 이엘케이 (주)
담당자오기환 (T. 042-939-9877 )
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
정보없음
AVS-9300T
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
2013-06-13
200,000,000원
원
- 차세대 터치 패널용 초박형 정전센서 개발을 위한 미세패턴 결함검출
- 표면검사 및 패턴검사
- 미세 조명 조정을 통한 연구효율성 극대화
- 패턴의 점, 선 형태의 패턴 특성에 따른 자유로운 Spec 조정
- 분해능 1.5㎛
- 최소선폭검출: 5㎛
- Tack time : 65sec
- 카메라 사양: Line scan 2대(반사광)
- 가로/세로/대각/ 밝기 값 독립설정
- Align 정렬 1mm이내
- 외관 검사 기능 : 이물, 기포, 찍힘, 눌림 등
- 이물 : 10㎛ / 눌림 : 50㎛ /기포 및 찍힘 : 20㎛
- 기능 : Ag, Metal, Metal mesh 검사(미세구조 분석)
- Metal mesh 미세패턴 검사
- 5㎛ 이하 미세패턴 분석
- 대면적 미세패터닝 검사
- 외관검사 기능 포함 : 이물, 기포, 찍힘, 눌림 등
챗봇