- BASE SYSTEM
- MOBILE MKII HARDWARE DRIVER
- 16 channel ICP & Voltage Input
- 102.4 kHz/ch, 24 bit, AC/DC coupling, TEDS지원
- 무소음
센서로부터 입력된 진동 신호의 분석에 사용되며, 스펙트럼 분석, 옥타브 분석을 통하여 진동 신호의 주파수별 크기 및 형태를 분석하는 프로그램이다.
본 과제는 장비에서 발생하는 미세 진동의 측정을 통하여 이를 제거하고자 프로세서를 거쳐 미세 진동을 제거하는 과제로서 제어 대상의 스테이지에서 발생하는 미세 진동을 측정하고 분석하기 위한 장비이다. 기존에 한국생산기술연구원에서 보유하고 있는 장비와 연동하여 사용하며 동시에 16채널의 신호를 입력 받아 실시간으로 진동 신호 분석이 가능하다.
-대상 장비의 시스템 특성을 평가하기 위하여 16지점의 진동 신호를 동시에 받아 실시간으로 분석/검토함으로써 장비의 성능 파악 및 해결 방안 도출을 꾀하며 높은 성능의 장비 개발

- 진동을 측정하여 그것을 분석하고 진동 저감에 활용

- 반도체나 디스플레이 산업의 스테이지의 구동 시 동하중의 이동에 따라 진동이 발생하게 되는데 이 때의 진동을 측정하여 분석하도록 한다.