공동활용장비
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- AP Plasma equipment 가동중 플라즈마 표면처리 장비
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i-Tube No.1306-D-0053
NTIS NoNFEC-2013-10-183410
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설치기관이엘케이(주)
주소대전 유성구 관평동 687번지 이엘케이 (주)
담당자오기환 (T. 042-939-9877 )
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
정보없음
Electrode 400mm
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
2013-06-01
50,000,000원
원
Plasma Electrode unit: 고전압 인가와 공정용 Gas 주입에 의해 대기압 상태에서 Plasma를 발생시키는 Unit이다.
본 Electrode는 일체형으로 되어 있으며, 세부 구성품으로는 Plasma발생 부분인 상부 일체형 Cathode부와 하부 Anode부로 크게 구분되고 Anode부에서는 Plasma 상태의 Gas 분사를 위해 Nozzle이 포함된다.
기판유리의 표면 세정 공정에 적용
1:1 Matching
전기 방전에 의한 쉬운 플라즈마 생성
UV및 산 세정 대체 가능
- 입력: 2kW(단상,208V/220V±10%,60/50Hz)
- 전압: 15kVpk
- 주파수: 30kHz
- 미세 선폭 (최종 목표 6㎛) 구현을 위해 초정밀 친수처리 및 동일한 Substrate 상에서 발수처리 진행
- 감광성 필름 소재 및 부자재의 밀착력 확보를 위하여 표면 처리 진행
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