에너지 분산 X-선측정기는 가속된 전자빔에 의해서 방출되는 여러가지 물질 중 X-ray를 검출하여 시료의 화학적 성분과 양을 분석하는 장비이며,이는 모든 물질은 각기 다른 원자구조를 가지고 있어 가속화된 전자빔에 의한 특성 X-선 발생이 다르기 때문임.
에너지 분산 X-선 측정기는 가속전자발생기, 발생된 가속전자에 의해 회절된 X-ray를 검출하기 위한 X-ray 검출기, 검출된 X-ray를 변환하기 위한 pulse processor 및 분석기로 구성되어 있으며, 보통의 경우 전자현미경과 함께 사용된다.
합성 물질의 조성 분석, 첨가(도핑, 코팅) 등의 미량 원소에 대한 정량적 분석, 미지의 물질에 대한 원소 맵핑, 도핑 원소의 분포에 대한 맵핑, 조성분석을 통한 화학적 구조 분석 등과 같은 분석기법에 주로 사용되며, 가장 널리 사용되는 시료 분석 중 하나임