- EML (electromagnetic lavitation) 소스를 평가하기 위한 진공 챔버
- EML 소스는 금속을 증발하여 기판에 코팅을 하기 위한 증발원
- EML 소스 평가용 챔버는 EML 소스의 성능을 평가하여 최적화하기 위한 장치임
- 폭 600 mm의 시편을 코팅할 수 있는 진공코팅 장치
- 시편 크기: 300X600 mm
- 이송 속도: 1~10 mpm
- 금속 (Al, Mg 등) 코팅용 증발원 평가
- 금속 (Al, Mg 등) 코팅 시편 제작
- 금속 (Al, Mg 등) 코팅을 위한 연속 공정 개발