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공동활용허용
2013-10-31
622,033,117원
원
200kW 급의 대출력 RF Plasma Sytem으로서 다양한 소재의 나노분말과 나노융합체 분말 및 구상화 공정을 양산 수준으로 생산할 수 있는 장비이다.