본 장치는 섬유강화 복합체를 제조하기 위한 장치이다. 열분해 탄소 계면상 및 SiC 침착에 특화되어 있으며, 화학기상침착법을 이용하여 고순도의 복합체의 제조가 가능하다. 제조 가능한 복합체의 최대 크기는 직경 20 cm, 길이 30 cm 이다.
반응기 - graphite heater (최대 2100oC), 진공 챔버 (2 x 10-4 torr), 샘플의 최대 크기 (직경 20 cm, 높이 30 cm)
진공펌프 - rotary pump (3500 l/min), booster pump (1200 m3/hr)
스크러버 - H2 및 HCl 제거
온도 및 유량 조절 장치 - PID controller, SCR 유닛
관형의 복합체 제조에 최적화된 장치임. 저압 화학기상 증착 및 침착법을 이용하여 SiC 섬유강화된 SiC 기지상 복합체 제조에 이용가능하며, 열분해 탄소층을 계면상으로 적용할 수 있음.