프로브스
TT-AFM
10년
주장비
생산
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비
2013-08-22
91,925,010원
없음
1. 나노구조물 제작
2. 탐침 기반의 나노리소그래피 공정시스템
3. Organic polymer의 submicron scale 패턴 제작가능
4. 특성 평가서 발급 가능
5. 공동 R&D 활용 가능
1) X,Y,Z 각축을 각각의 piezo ceramic을 분리, 구동할 수 있도록 설계되어야 함.
2) 3 Axis에 각각 선형보정센서를 장착하여 선형성이 우수하도록 설계되어야 함.
3) 모든 상용화 프로브의 사용 및 캔틸레버의 길이에 상관없이 사용이 가능하도록
laser의 focus조절이 가능하여야 하며, detector의 경우 X,Y 축 뿐만 아니라
Z축의 움직임이 가능하여 모든 프로브 사용의 확장성을 갖추어야 함.
4) Z축의 구동 확장성을 고려한 설계 - (최대>17um)
5) Z축 Gain 조절을 통한 piezo의 사용영역의 조절이 가능하여 함.
(ex. 1 gain: 1.1um, 15 gain: 17um)
6) Zoom microscope의 사용을 통한 광학의 배율을 조절 가능하여 함.
7) 3.0 Mega pixel digital CCD카메라 장착으로 광학이미지 캡쳐 및 프로세싱 가능하여 함.
8) 컨트롤러와 컴퓨터의 USB 연결을 통해 향후 컴퓨터 노후에 따른 교체시 가격절감효과
및 편의성 확충
9) Operating software를 Labview base로 하여, User의 원하는데로 확장이 가능하며,
모든 software의 source를 open
10) 프로브 holding 방법이 마그넷을 사용하지 않아야 함(향후 확장가능성).
11) 나노스케일을 연구하는 진동에 민감한 장치로서, 컨트롤러의 소음이 없어야 함
(Fan을 사용하지 않아야 함)
12) 장비의 오랜시간 유지보수를 위해 모든 parts의 수리 및 교체는 국내에서 빠르게
진행할 수 있어야 함.
1. 나노구조물 제작
2. 탐침 기반의 나노리소그래피 공정시스템
3. Organic polymer의 submicron scale 패턴 제작가능
4. Dip-pen Nano Lithography 장치는 미세탐침을 이용한 시료의 표면에 패턴을 만들고 3차원으로 관찰하는 기능의 첨단 표면공정분석장비
미세탐침을 이용한 시료의 표면에 패턴을 만들고 3차원으로 관찰하는 기능의 첨단 표면공정분석장비, (LED조명연구용)로 나노구조물과 Organic polymer의 submicron scale 패턴제작할 수 있음
기관의뢰
고정형
기타
0원
1. 나노구조물 제작
2. 탐침 기반의 나노리소그래피 공정시스템
3. Organic polymer의 submicron scale 패턴 제작가능
4. 특성 평가서 발급 가능
5. 공동 R&D 활용 가능
1) X,Y,Z 각축을 각각의 piezo ceramic을 분리, 구동할 수 있도록 설계되어야 함.
2) 3 Axis에 각각 선형보정센서를 장착하여 선형성이 우수하도록 설계되어야 함.
3) 모든 상용화 프로브의 사용 및 캔틸레버의 길이에 상관없이 사용이 가능하도록
laser의 focus조절이 가능하여야 하며, detector의 경우 X,Y 축 뿐만 아니라
Z축의 움직임이 가능하여 모든 프로브 사용의 확장성을 갖추어야 함.
4) Z축의 구동 확장성을 고려한 설계 - (최대>17um)
5) Z축 Gain 조절을 통한 piezo의 사용영역의 조절이 가능하여 함.
(ex. 1 gain: 1.1um, 15 gain: 17um)
6) Zoom microscope의 사용을 통한 광학의 배율을 조절 가능하여 함.
7) 3.0 Mega pixel digital CCD카메라 장착으로 광학이미지 캡쳐 및 프로세싱 가능하여 함.
8) 컨트롤러와 컴퓨터의 USB 연결을 통해 향후 컴퓨터 노후에 따른 교체시 가격절감효과
및 편의성 확충
9) Operating software를 Labview base로 하여, User의 원하는데로 확장이 가능하며,
모든 software의 source를 open
10) 프로브 holding 방법이 마그넷을 사용하지 않아야 함(향후 확장가능성).
11) 나노스케일을 연구하는 진동에 민감한 장치로서, 컨트롤러의 소음이 없어야 함
(Fan을 사용하지 않아야 함)
12) 장비의 오랜시간 유지보수를 위해 모든 parts의 수리 및 교체는 국내에서 빠르게
진행할 수 있어야 함.
1. 나노구조물 제작
2. 탐침 기반의 나노리소그래피 공정시스템
3. Organic polymer의 submicron scale 패턴 제작가능
4. Dip-pen Nano Lithography 장치는 미세탐침을 이용한 시료의 표면에 패턴을 만들고 3차원으로 관찰하는 기능의 첨단 표면공정분석장비
미세탐침을 이용한 시료의 표면에 패턴을 만들고 3차원으로 관찰하는 기능의 첨단 표면공정분석장비, (LED조명연구용)로 나노구조물과 Organic polymer의 submicron scale 패턴제작할 수 있음