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SPEKTR A20
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-01-23
205,000,000원
원
- SPEKTRA20 MAINFRAME & PC
- FET OPTION
- 9318-HV : 3KV HIGH VOLTAGE UNIT
- 4052-SCA : 32PIN PROGRAMMABLE 3K/20A UNIT & PT9204-xx SCANNER I/F BOARD
- 적용 Process : PCM(Process control monitoring)
: 웨이퍼 내 시험 소자의 특성 측정을 통한 공정 문제 확인
: 고전압 공정 및 제품 개발 시 소자 양품/불량 품 판정
: 현 PCM 전용 설비 중 Transistor, FET, Diode 측정 시 한계 전압이 200V이므로 고전압 소자 전용 TEST 설비 도입이 필수임
- 고전압 반도체 소자 100V, 200V, 300V, 450V, 700V급 nLDMOS, pLDMOS, JFET, Diode
장비 가동률:(21시간*52 주)*100 / (40시간*52주) =52.5%
*년간 총 장비이용시간 : 1,092hrs(4.2 h/day, 5 day/week, 52weeks
(장당 측정 시간 10min, 주관기관 및 참여기관의 월평균 웨이퍼 제작 500장 기준)
- 과제 종료 후 공동활용방안
: 고성능/고전압 전력용 반도체용 PCM 특성 연구
: 외부 기관(대학교, 연구소, 기업체)에 PCM 특성 연구 서비스 제공