모두시스템즈
CG-196-4SL
10년
부대장비(부가장치) (주장비:온웨이퍼테스터)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-07-15
59,000,000원
고정형
시간별
95,000원
본 장비는 저온에서 LED 칩의 티 ect r i ca 1, Opt i ca 1 특성을 측정할 수 있도록 Vacuum chamber 와 온도 조절 시스템을 장착한 p r obe s t a t i on 으로 저온측정을 통하여 Thermal 요인을 배제한 LED 고유의 특성을 확인 할 수 있습니다 .
Specifications
1. Chamber
- Chamber size Dia(300-400) x Flenge(200-400)
- Preassure 10(-3 torr)
- Temperature -180 oC - 200 0C
- Temperature measure system - Accuracy :t0.50C
- Chuck size :4 inch 이상
- Chuck movement system - Movement range X, Y 축 土50 mm
(단, chuck 이 고정된 상 태 에서도 4inch 전 영 역 에 걸쳐 optica l. electr ica l 특성을 축정할 수
있으면 없어도 무방함, opt i ca I 측정의 경우 모든 위치에서 detectol 와 salllple 간의 거리와
각도 가 항상 일 정해야 함)
- Gas flow control system
- View port (4 inch Quartz)
2. Microscope
- High resolution microscope - Max -200x
- Zoom -4.5x
- CCD Camera , video converter & video capture software
- Display monitor
- II luminator volume control box & I ight guide fiber
3. Optical measurement system
- Half integrating sphere on View port
- Light power measurement system - Accuracy 0.01mW
- Light spectrum measurement system - wavelength measurement range 380nm 이하 -780nm 이상,
wavelength measurement Accuracy 1nm 01 하
- Opt ical f iber
4. Positioner
- High resolution micro-positioner
- X-Y-Z movement 40-40-40mm 이 상 , acc 1um
- Tip holder Low noise less then 50fA
- Tip Diameter 10um 01 하, 10pcs/ 1box
LED chip의 전기적 광학적 특성을 저온에서 측정 할 수 있는 장비로 chip의 측성을 변화시키는 요인 중 하나인 Thermal 요소를 배제 함으로서 chip 고유의 특성을 확인 할 수 있는 장비이다.
Specifications
1. Chamber
- Chamber size Dia(300-400) x Flenge(200-400)
- Preassure 10(-3 torr)
- Temperature -180 oC - 200 0C
- Temperature measure system - Accuracy :t0.50C
- Chuck size :4 inch 이상
- Chuck movement system - Movement range X Y 축 土50 mm
(단, chuck 이 고정된 상 태 에서도 4inch 전 영 역 에 걸쳐 optica l. electr ica l 특성을 축정할 수
있으면 없어도 무방함, opt i ca I 측정의 경우 모든 위치에서 detectol 와 salllple 간의 거리와
각도 가 항상 일 정해야 함)
- Gas flow control system
- View port (4 inch Quartz)
2. Microscope
- High resolution microscope - Max -200x
- Zoom -4.5x
- CCD Camera video converter & video capture software
- Display monitor
- II luminator volume control box & I ight guide fiber
3. Optical measurement system
- Half integrating sphere on View port
- Light power measurement system - Accuracy 0.01mW
- Light spectrum measurement system - wavelength measurement range 380nm 이하 -780nm 이상,
wavelength measurement Accuracy 1nm 01 하
- Opt ical f iber
4. Positioner
- High resolution micro-positioner
- X-Y-Z movement 40-40-40mm 이 상 acc 1um
- Tip holder Low noise less then 50fA
- Tip Diameter 10um 01 하, 10pcs/ 1box