X, Y축을 이동시킬 수 있는 Split Type의 5세대 Glass를 진동없이 이동하여 광학계(카메라, 렌즈, 조명 등)를 이용하여 이상 유무를 검사할 수 있는 정밀 Stage입니다.
5세대 Glass를 센터 기준 양방향으로 100mm 동안 등속으로 이동.
이동 시 상하, 좌우 진동, 직진도, 반복 시 정밀도가 모두 20um이하 인 장비.
Pay Load는 50Kg이하
광학계를 이용한 이미지 획득 시 변속보다는 등속이 유리하므로 등속구간에 광학계를 설치하여 이미지 획득이 가능하며 전체 정밀도가 20um이하이므로 심도가 20um이상인 광학계는 설치.