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NSDL-16B05
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 절삭장비 > 연삭장비
2013-03-26
86,600,000원
원
wire saw 등을 이용하여 절단한 여러 장의 Sic 기판을 동시에 원하는 두께로 표면 연마하는 설비로서, B4C slurry를 공급하여 정반과 캐리어내에 위치시킨 기판을 회전시켜 기판의 양면을 동시에 원하는 두께로 가공하는 장비임
Main body
Main spindle
- Spindle type: gear box type
- Spindle speed: 0~20rpm
- plate size: 1150 x 374 x 65mmt
Upper plate unit
- Spindle speed: 0~20rpm
- plate size: 1140 x 60mmt
- plate material: cast iron
성능
- 4" & 6" 겸용
- 4" 기준 1회 40장 동시 가공
SiC seed 기판 가공을 포함한 난연삭 기판 가공에 활용
wire saw 등을 이용하여 절단한 여러 장의 Sic 기판을 동시에 원하는 두께로 표면 연마
양면을 동시에 원하는 두께로 가공