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SD1505S
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2013-07-19
41,800,000원
원
원심력을 이용한 유리기판의 세척 및 건조 장치.
제조공정 또는 패턴공정에서 오는 Photo Resist 등의 화학적 잔유물들을 효과적으로 제거하고 이 기판으로 제작된 uniformity를 유지하는데 활용
- 기판사이즈: 5cm * 5cm 기판, 25 ea
- DI-water cleaning and dried with CDA (70도까지 고온건조 가능)
- Cleaning 및 drying 시 Di-water나 CDA 노출시간 및 flow rate 조절
- 건조속도: 0~3000rpm
- 전자소재 및 나노소재 개발용 단위소자 기판 세척
- 일정한 패턴으로 패턴된 ITO glass 또는 TCO glass 기판 세척
- 5cm * 5cm 사이즈의 실리콘 웨이퍼 세척