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주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2013-05-15
96,607,268원
원
본 장비는 IR 반사코팅 유리의 코팅 두께를 측정하기 위한 정밀 두께측정기임. Masimum Scan Length 는 200mm 이고, Vertical Linearity는 2000Å 이상에서 0.5 %, 이하에서 10Å임, Repeatability는 1um보다 작을 경우 4.0 Å (1시그마) for steps, 1um보다 클 경우 0.1% (1시그마) for steps 임. Reproducibility는 15.0 Å 혹은 0.25% (1시그마)이고, Scan Speed는 2um/sec ~ 25mm/sec 임.
Microhead 5 SR ? vertical range 327um, stylus force 0.5~50mg, 13um resolution < 0.01Å, 64um resolution < 0.04Å, 327um resolution <0.2Å. Stylus : full range of styli available with tip radius from submicron (0.04um) to coarse(50um) sizes. Full range of included angle to support standard and high aspect ratio measurements, ranging from 20° to 90°. Also support specialty styli, such as the knife edge stylus.
1. 전원을 켜고 stylus profiler program을 실행한다. 2. 측정하고자 하는 시료의 측정 목적에 맞게 recipe를 조정하고 저장한다. 3. manual load button을 눌러 시료를 loading 한 후, 다시 manual load button을 누른다. 4. focus button을 눌러 시료의 높이에 맞게 auto focusing 한다. 5. measure button을 눌러 측정을 실시한다. 6. 측정 후, data를 자체 프로그램 혹은 제공된 소프트웨어에서 편집한다.