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EVA1203B
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2013-04-30
36,000,000원
원
열 증착 장비로서 사용자가 원하는 진공 및 각종 가스 분위기 하에서 텅스텐 보트에 증착하고자 하는 물질(Source)를 넣고
전압을 인가하여 물질의 기화온도까지 고온으로 가열시킨 후 챔버내 기체상태의 물질이 저온의 기판에 증착하는 장비
Chamber, 진공부(고진공 오일펌프), 전력부(150A), 냉각 기판부, 진공 및 밸브 컨트롤러 구성
상압에서 고진공까지 사용자가 원하는 진공도 및 각종 가스분위기 조절이 가능.
액체질소를 이용하여 -200도 이하까지 극저온까지 기판의 온도 조절이 가능.
1. 골드와 구리를 60 :2 비율로 증착하고자 하는 두께만큼의 양을 보트에 로딩함
2. 액체 질소를 넣고 샘플의 온도를 -100도씨 이하로 유지함
3. 고진공의 챔버를 고순도 질소로 상압 부근까지 압력을 조절.
4. 전압을 인가하여 보트를 가열함
5. 기체상태의 가열한 후 연기가 보일때 가이드를 열어 저온의 기판쪽으로 유도하여 증착.