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Alpha Step D-120
주장비
시험
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2013-04-30
46,910,600원
원
상기 품목은 접촉식 ( Stylus ) 측정 방식으로 시료 위에 도포 시킨 각종 박막의 표면을 Scanning하여 그들 박막의 두께를 1 Angstrom 이하의 분해능으로 측정하며 표면의 거칠기 및 상태를 확인하는 장비이다. Silicon Wafer 나 Glass등 시료 위에 Design상 요구된 Pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 ( Etching ) 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 정확히 형성되었는지 확인하는데 사용하며 화학 물질로 형성된 여러 종류의 박막 두께와 넓이 그리고 시료 표면 위에 도포 시킨 각종 박막 두께의 균일성을 정확하게 측정 하는데 사용 되고 있다
○ Scan range : x-axis 150mm, y-axis 178mm 100Å~130um, z- resolution : 1Å~65KÅ
○ Force : 1~40mg
○ Stylus : 12.5 radius(Diamond)
미세전극, IC 등의 표면조도 측정 및 본딩 후 warpage 측정 및 전극 미세 표면상태 확인.
Glass panel 등의 휨정도 측정 및 실버 전극 등의 표면 요철 상태 및 인쇄 상태 확인 가능