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ZMI-4000 AXIS WITH
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2013-05-10
64,004,188원
원
거리 측정 간섭계는 Feedback 시스템으로써 정밀 스테이지의 위치 정도를 수 nm이하로 정렬할 수 있도록 제어하는 시스템입니다. 레이저 헤드에서 발진된 빔이 간섭계를 통해 스테이지의 미러에서 반사되고, 되돌아온 빔을 간섭계에서 디텍트하여 거리를 측정하는 실시간 정밀 변위 측정 시스템입니다.
1. ZMI Laser Head
Nominal Vacuum Wavelength : F1: 632.991501 nm (vertical polarization), F2: 632.991528 nm (horizontal polarization)
Usable Beam Length : 6 mm beam: 25 m, 3 mm beam: 2 m
Frequency Difference : 20 MHz ±1600 Hz
Beam Pointing Stability : <0.1 arc sec/°C
Polarization Orthogonality : 90° ±0.5°
2. ZMI Measurement Board
Position Resolution : λ/4096 (0.15 nm)
Position Range : ±10.6 m @ λ/4096
Velocity Range : ±2.55 m/sec @ λ/4096
Lithography 용 : optical steppers and scanners, e-beam & laser mask writers
Mask, wafer and LCD inspection and measurement tools, CD-SEM's
Process 장비 : Memory repair tools, probers, die bonders, drilling tools
고정밀 Stage 및 Servo motor와 같은 고주파를 이용한 이송장치의 위치 정도 측정 및 보정