Takeuchi Electric
TASUB2
4년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-04-24
435,059,596원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
139,290원
비산화물 원료분말을 이용하여 비산화물 단결정을 성장시키는 장치로서, 고순도의 비산화물 단결정을 획득할 수 있는 장비임.
SiC 및 AlN 등 비산화물 단결정은 전기자동차, 하이브리드카 등의 전력소자, 태양광소자의 에너지 변환소자, 에너지 절약이 요구되는 다양한 전자제품용 전력소자, LED/LD소자 및 고주파 소자에 응용될 것으로 기대되는 질화 갈륨기판용으로 커다란 시장이 전망됨.
Max. temp. : 2,500℃
Max. Specimen Dia. : Φ100mm
RF generator : 50Kw(Max.), 주파수 10kHz(Max.)
Crucible size : Outside Φ150*L170(Max.)
Crucible rotation : 8rpm(max.)
Atmosphere inside furnace : Vacuum, Ar, N2
Temperature Monitor : Radiation thermometer on top and bottom of crucible
Reachable Vacuum : 1.33*10(-4)Pa
Leak rate : less than 5*10(-8)m3/sec(He)