뉴영시스템
RTO200H-RP2
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2013-02-15
135,967,030원
원
반도체 및 Solarcell 제조 공정시 Metal line 형성 후 급속 열처리를 통해 Metalization을 유지해 줌으로서 미세 Contact Hole에 Metal line을 Uniform하게 만들어 주고 절연저항을 최소화 할 수 있어 전하 전도성을 높여 Metal 효율을 극대화 하는 장비.
- RTA Frame
- Halogen lamp unit
- Hot temp. chamber
- TPR unit
- PC Controller
- TPR Unit
- AR, N2 Gas line unit
- L/UL Cylinder unit
- Pyrometer unit
- Electric Panel unit
반도체 공정중에 건식증착을 통해 전극을 형성하고, 이를 열처리 공정을 통해 낮은 저항을 갖는 금속전극 후처리 공정장비
태양전지 셀에서는 실버 및 알루미늄 전극을 프린팅 기법을 통해 형성하고 기판과의 접촉성 향상을 위해 수행하는 소성공정장비
1. 샘플사이즈 : 156x156mm
2. 온도 컨트롤 범위 : 상온 ~ 1100°C
3. 샘플 내 온도 균일도 : ±2.0% @ 800°C
4. 진공 성능 : 5mTorr 이하