참트론
모델명 없음
5년
부대장비(부가장치) (주장비:배치형 증착 시스템)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-05-30
45,000,000원
기관의뢰
고정형
일별
500,000원
본 장치는 진공의 상태를 유지하여 시료의 오염을 방지하여 시료의 처리 및 조작이 가능하도록 한 장비이다. 또한 클러스터 증착 시스템과 연결하여 크로그램의 연동이 가능하도록 구성된다. 본 장치는 시료의 오염을 방지하기 위하여 외부의 공기와 격리된 내부 공간이 확보
"-. 설비구성 : 본 시스템은 본체, Transfer chamber(진공), Dry trap(Purifier), 시약선반, 수분분석시스템, 산소분석시스템, 그리고 ‘200*200 cluster 증착 시스템’의 진공챔버로 시료를 이송하기 위한 Load/Unload system으로 구성되어 있다.