참트론
모델명 없음
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-05-30
395,000,000원
기관의뢰
고정형
일별
500,000원
본 시스템은 Organic Device 제작을 위한 유기 박막 증착 시스템이다. 초고순도의 유기 박막을 형성하기 위하여 고진공 환경에서 증착이 되어야 하며, 정밀한 두께 조절 및 두께 균일도를 형성할 수 있는 시스템이다. 또한, 고진공에서의 연속적인 다층의 유기 박막 형성에 사용됨
-. 설비구성 : 본 시스템은 진공로봇이 장착된 Transfer Module과 Load-Lock Chamber, 그리고 유기 박막 증착을 위한 프로세스 챔버 (Process Chamber)로 구성되며, 전체 시스템의 전력을 분배하는 전력 분배부 (Power Distribution Panel)와 제어부 (Control Panel)로 구성