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Summit 12000
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2013-02-15
222,135,808원
원
TFT등 반도체나 디스플레이용 전자소자를 측정할 수 있는 프로브 스테이션으로 저누설 전류를 가지는 것이 특징이며, thermal chuck이 구성되어 있어 온도를 가변하며 측정이 가능함. 또한 반자동 기능이 있어 반복적인 패턴에 대한 측정이 가능함
1) 구성 : Probe station, Thermal chuck, Microscope, Isolation table.
2) Probe station
◆ Wafer Size : 최대 200mm wafer 측정이 가능
◆ X-Y stage 의 Resolution : ±1㎛ 수준
◆ X-Y stage 의 Accuracy : <2.5㎛
◆ Z stage의 Resolution : 1㎛
◆ Z stage 의 Accuracy : 2㎛
◆ Probe leakage : <1fA
3) Thermal chuck
◆ Temperature range : +20℃ ~ 300℃
◆ Temperature accuracy : ±0.1℃
◆ Temperature uniformity : <0.5℃ @ 30℃, <3.0℃ @ 300℃
◆ Chuck flatness : <30 ㎛ @ +20℃ ~ 300℃
◆ Chuck leakage : <15fA (Thermal controller off), <20fA (@ 25℃), <20fA (@ 200℃), <30fA (@ 300℃)
◆ Chuck residual capacitance < 50pF
6인치나 100mm x 10mm 기판상에 형성된 TFT 소자의 측정이 가능함. 특히 반복적인 TEG로 구성되어 있을 경우 여러 패턴에 대한 반복적인 측정이 가능함.
현재 프로브 시스템에 agilent 1500A장비가 연결되어 있어 반도체 소자의 패러미터 분석이 가능함
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