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Dektak XT
주장비
분석
물리적 측정장비 > 달리 분류되지 않는 물리적 측정장비 >
2013-05-29
40,000,000원
원
1. 뛰어난 성능과 5A의 반복성
- 단일 아치 디자인은 획기적인 플랫폼 안정성을 제공
- 새로운 낮은 소음의 기준을 제공
- 하드웨어 구성은 40% 이상 빠른 시간을 제공
2. 뛰어난 효율성과 사용상의 용이성
- Vision 64 사용자 interface의 workflow 작업의 단순화
- 단일 센서로서 최대 1000um의 높이를 측정
- Stylus tip 교환을 손쉽게 가능
1. 장비 구성
- DektakXT entry system
- 23"Flat panel display (Dell monitor black)
- Starter stylus - 2um
- VLSI Step Height Standare 9.4KA (940NM)
- Vibration isolation table 800*800
1. PR액(Mill Base + Mother Solution) 코팅 시의 박막 두께를 측정하는데 사용함.
(PR액의 착색력을 평가하는 기준이 됨.)
2. 유기물/무기물의 박막 두께를 측정하는데 사용함.