Keithley Inst., Inc.
4200-SCS/F
20년
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
2013-02-28
55,770,000원
원
1. 나노세라믹 반도체의 WAFER 및 DEVICE상태 전기적 물성, 특성 측정
2. 연구소 수준의 DC 디바이스 특성 분석, 실시간 플로팅 및 고정밀, 펨토 암페어 이하의 분해능으로 분석을 수행가능
주요 제품 사양
■ Intuitive, point-and-click Windows®-based environment
■ Unique Remote PreAmps extend the resolution of SMUs to 0.1fA
■ C-V instrument makes C-V measurements as easy as DC I-V
■ Pulse and pulse I-V capabilities for advanced semiconductor testing
■ Scope card provides integrated scope and pulse measure functionality
■ Self-contained PC provides fast test setup, powerful data analysis, graphing and printing, and on-board mass storage of test results
■ Unique browser-style Project Navigator organizes tests by device type, allows access to multiple tests, and provides test sequencing and looping control
■ Built-in stress/measure, looping, and data analysis for point-and-click reliability testing, including five JEDEC compliant sample tests
■ Integrated support for a variety of LCR meters, Keithley switch matrix configurations, and both Keithley Series 3400 and Agilent 81110 pulse generators
■ Includes software drivers for leading analytical probers
1. Wafer 또는 완성된 device상태의 반도체에 5㎶-200V 범위 전압 공급 및 1.5fA-1A 범위의 전류공급
2. 1㎶(106V) 정밀도의 전압측정
3. 옵션 품목인 4200-PA를 장착하여 전류 측정기능의 확장을 통한 100aA(1018A) 정밀도의 저전류 측정
4. 옵션 품목인 4200-CVU를 장착하여 반도체의 C-V 특성 분석
5. Probe Station, Pulse Generator 등을 제어하는 기능이 있어 모든 반도체 소자 개발 및 분석 가능
■ Semiconductor Device Analyzer Mainframe
■ High Resolution Source-Measure Unit : 4 ea
(triax to triax cables 8 ea included)
■ Current Measurement Range: ±100mA
■ Maximum Current Measurement Resolution: ±0.1fA
■ Maximum Current Measurement Accuracy: ±10fA
■ Voltage Measurement Range: ±200V
■ Maximum Voltage Measurement Resolution: ±1uV
■ Maximum Voltage Measurement Accuracy: ±150uV