TSE
TPS7-6
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-05-18
185,900,000원
원
본 설비는 LED Probing System과 LED Sorting System의 기능을 한 설비 내에서 수행하는 설비입니다.
Probing System은 웨이퍼를 후프링에 테이프로 고정하고, 장비에 장착한다. 그리고 Spectrometer와 Tester를 사용하여 Chip 패드에 prober Tip을 contact하여 전기적, 광학적 특성을 측정하여 데이터로 만들어주고, Sorting System은 Probing System에서 측정한 chip에 대한 전기적, 광학적 특성 데이터를 활용하여 등급별로 분류하는 기능을 합니다.
1. Wafer size 2inch - 6inch 측정가능
2. Latera l chip , Vertical chip 측정 가능
- Vertical chip 은 Stage 교체 후 측정 가능
3. Chip Size 250 - 1800um
- Lateral Chip 250 - 1000um
- Vertical Chip 1000 - 1800um
4. 측정가능 파장 범우1 : 200 - 800nm
LED Chip 공정의 가장 마지막 공정 장비로 Chip에 대한 전기/광학적 특성을 측정하여 측정결과에 따라 등급별로 분류하는 장비로 이 장비가 없으면 전기/광학적 특성을 측정하고, 등급별로 분류하는 것이 불가능한 필수 장비입니다.
개요 : LED Chip에 대한 전기 광학적 특성을 측정하여 측정 결과에 따라 등급별로 분류하는 장비
활용분야 : Chip 공정에서 특성을 측정하여 측정 결과에 따라 등급별로 분류