BEGA
RS8-1G
5년
주장비
계측
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2013-04-30
57,200,000원
기관의뢰
고정형
시간별
50,000원
○ 측정원리 : 정밀 면저항 측정기가 로봇암 (robot arm)을 통해 정해진 위치로 이동하면 연속적으로 대면적 샘플의 면저항을 측정하고, 소프트웨어를 통해 자동 분석하는 원리임.
- 측정간격: 최소 1mm 이하
- 측정정밀도 : ±0.5% (wafer기준)
- 저항측정범위: 1 mΩsq. ~ 1 GΩsq.
- 측정 샘플 크기 : 최대 600mm ×600mm