Keithley
4200-SCS
8년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2013-04-29
46,242,634원
기관의뢰
고정형
시간별
1원
터치 소자와 같은 전자 소자의 공정 개발에 있어서 가장 중요한 부분 중에 하나가 개발된 소자의 특성을 확인하는 것이다. 현재 구매하고자 하는 펄스 측정 분석 장비는 개발된 터치 소자들의 transient 특성을 매우 정확하게 분석할 수 있는 장비로써, 소자 공정 개발에 있어서 중요한 장비이다. 따라서 전극이 연결된 형태의 터치 소자 등의 전기적 물성 연구, 특히 매우 빠른 시간에 발생하는 전기적 물성을 분석하는데 필요한 장비이다.
1) Pulse measurement System
1. 전류 공급 범위 : +/-800mA, 4 ranges from 100uA to 800mA
2. 전압 공급 범위 : +/-40V, 2 ranges of 10V and 40V
3. 펄스 타이밍 범위 : 60ns to DC
2)Ultra-Fast IV Module (4225-PMU)
- 전류 공급 범위 : +/-800mA, 4 ranges from 100uA to 800mA
- 전압 공급 범위 : +/-40V, 2 ranges of 10V and 40V
- 펄스 타이밍 범위 : 60ns to DC
3)Remote Amplifier/Switch for PMU Module (4225-RPM)
- 전류 범위 : 10mA, 1mA, 100uA, 10uA, 100nA
4) Cable assembly (CA-531-24A)
본 장비를 이용하면 빠른 시간 안에 bias를 인가하여 소자에서 발생하는 current를 확인할 수 있게 된다. 따라서 개발된 터치 소자들의 전기적 특성 및 transient 특성을 파악할 수 있다. 이러한 결과를 소자 공정 개발에 활용하여, 소자의 산업 적용 가능성 및 응용을 할 수 있는지 평가할 수 있다. 또한 소자의 전기적 물성 분석의 자유도를 올려 다양한 전기적 물성 분석이 가능할 것으로 기대된다.
본체 앞부분에는 프로그램을 실행시켜 전류 측정을 실시간 볼 수 있는 모니터, 프로그램 설치시 필요한 시디롬, 데이터 이동 및 컴퓨터 주변기기 연결에 필요한 USB 커넥터와 장비 on/off를 시키는 전원버튼이 함께 있다. 본체 뒤에는 일반적인 DC 전류를 측정하는 SMU 커넥터와 RPM과 연결해 펄스를 주어 측정할 수 있는 커넥터가 존재한다.