Cascade Microtech
Summit 12000
10년
주장비
분석
전기·전자장비 > 신호발생장비 > 달리 분류되지 않는 신호발생장비
2013-04-26
87,417,000원
고정형
기타
원
Probe station은 반도체 소자들에 전기적 신호를 인가 및 확인이 가능하도록 전기적 연결을 하는 장비로써, MPG (metal/piezo/graphene) 구조로 구성된 터치 소자의 전기적 특성 분석에 필요한 시스템이다. 본 장비를 도입하게 되면 작게는 1인치부터 크게는 8인치 크기의 대구경 반도체 소자를 분석할 수 있게 된다. 그래핀으로 구성된 터치 소자의 경우 ambient에 영향을 받기 때문에 ambient를 조절하며 특성 분석을 할 수 있는 시스템이 구축되어야 한다. 이와 같은 장비를 이용하면, 터치 소자의 전기적 특성을 정밀하게 측정 할 수 있으며, 또한 온도 및 ambient를 조절할 수 있어 반도체 소자의 다양한 특성을 분석할 수 있다.
ㅁ규격(성능 및 사양) :
1) Substrate : 200 mm
2) Temperature range : -60 ~ 250 deg. C
3) Ambient control : N2, O2
4) Low offset current : ~ 20fA
5) Semi-auto system
그래핀으로 구성된 터치 소자의 전기적 특성을 정확하게 분석하기 위해서는 측정 중에 N2 혹은 O2 분위기를 조성할 수 있어야 한다. 이러한 분위기 조절은 반도체의 정확한 특성을 분석 가능케 한다. 또한 동시에 온도를 조절하여 전기적 특성을 분석할 수 있으면, 소자의 extrinsic한 특성을 분석할 수 있어지고, 다양한 관점에서 분석을 시도할 수 있다. 이러한 연구는 그래핀 터치 소자들의 이해를 돕고, 소자 특성 개선 및 새로운 소자 개발의 효율을 올릴 수 있을 것이다.
EMI shielding이 가능한 Micro chamber 속에 온도 조절 및 회전이 가능한 chuck이 있으며, 이는 척을 보호하고, manipulate를 올려 놓을 수 있는 attoguard 아래에 있다. tophat은 attoguard에 포함 되며, 척의 온도를 보온할 수 있으며, 암막을 유지하게 해줘, 현미경과 함께 이미지 시스템을 운용에 용이하다.