Otsuka Electronics
ELSZ-1000
주장비
분석
물리적 측정장비 > 달리 분류되지 않는 물리적 측정장비 >
2013-03-25
61,134,340원
원
○ 입자 크기, 입자의 제타 전위 측정
○ 무기 입자들의 효율적 분리를 위해 입자들의 크기와 제타 전위를 분석하는 것이 필수적임
○ 비파괴적인 역산란 기술을 이용한 입도분석
○ 레이저를 이용한 도플러 속도측정 및 상분석 광산란 기반 제타전위측정
측정 범위
Concentration (Zeta potential) : 0.00001% ~ 40%
range (Particle size) : 0.00001 % ~ 40 %
Zeta potential : -200 ~ 200 mV
Particle size : 0.6 nm ~ 10 μm
○ CMP 폐수에는 다양한 무기계 물질이 포함되어 있고 폐수를 재활용하기 위해서 이러한 무기 입자들을 분리가 중요함.
○ 수처리 부분의 기술개발에 필수적일 뿐 아니라 나노에서 마이크로 크기를 갖는 입자들의 특성을 분석하는데 사용됨.
- Concentration range:
Zeta potential : 0.00001% ~ 40%, Particle size : 0.00001 % ~ 40 %
- Zeta potential: -200 ~ 200 mV
- Electric mobility: -20 ~ 20 μm・cm/sec・V
- Particle size: 0.6 nm ~ 10 μm
- 입자크기측정: 655.8nm 반도체 레이저 사용(동적광산란법, Dynamic Light Scattering)
- 제타전위측정: 655.8nm 반도체 레이저 사용(전기영동광산란법, 레이저도플러법, Electrophoretic Light Scattering)