Bruker
Dektak XT
5년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2013-03-11
70,700,000원
없음
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기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 30,000원
- 미세한 tip을 표면에 접촉시켜 scanning 함으로서 시편에 존재하는 박막 및 코팅믹의 단차를 측정하는 장치임.
- 장비를 통해서 박막 및 후막의 두께 (step height)를 2차원적으로 측정가능함.
- 2차원 단차 측정 뿐만 아니라 정밀 연마되었거나 거칠게 가공된 표면의 거칠기 및 waviness를 3차원적으로 측정 가능함.
- Stylus profiler (base system)
- Stylus with different Radius (2 um & 12.5 um)
- Step Height Standard 9.4 KA (940 nm)
- Calibration Standard, nominal 900 um.
- Vibration Isolation Table (30 inch WD x 30 inch DP x 30 inch H)
- 박막 및 후막, 코팅막의 두께 혹은 단차 (step height) 측정
- 연마 및 가공된 표면의 거칠기 & Waviness 3차원 분석
- 스크래치 및 구멍, 마모의 깊이 및 부피 측정
- 표면의 전체 거칠기 및 평탄도 측정
- Stylus profiler (base system)- Stylus with different Radius (2 um & 12.5 um)- Step Height Standard 9.4 KA (940 nm)- Calibration Standard nominal 900 um.- Vibration Isolation Table (30 inch WD x 30 inch DP x 30 inch H)