탑엔지니어링
phaethon100U
10년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2013-03-04
882,619,220원
원
1400도의 고온유지 장비로써 AlN의 성장온도에 적합하여GaN,AlGaN,AlN등의 layer를 자유롭게 증착하여 250nm에서 380nm정도의UV LED소자를 만드는 장비임.
가스라인은 3족가스 라인과 5족 가스라인이 별개로 구성되어 있으며 히터는 RF의 히터로 구성되어 있으며 샤워헤드 방식으로 수직형 챔버로 구성되었으며 펌프를 이용한 진공CVD장비임.
UV LED소자를 만들어서 기존 UV용램프사용에서 LED를 이용함으로써 보다 Sharp한 파장영역과 소형제품으로 보다 나은 제품에 적용하는데 대부분 위폐감지기,경화기,병해충과 소독에 사용됨으로써 점차 활용분야가 넓어지고 있다.
1400도의 고온유지 장비로써 AIN의 성장온도에 적합하여 GaN, ALGan,AIN등의 layer를 자유롭게 증착하여 250nm에서 380nm정도의 UV LED 소자를 만드는 장비임.