MS TECH
MST4000A
10년
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 전압/전류/전력측정시험장비
2013-02-19
52,505,000원
고정형
시간별
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반도체의 wafer상태, 소자 그리고 PCB 상에서의 전기적 물성 및 특성을 측정하는 고정밀급 반도체용 Probing 장비로서 반도체의 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설전류측정, 브레이크 다운 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명예측, Hot Carrier Test 등 다양한 파라메터를 측정하기 위해 프로빙이 가능하다.
1.프로브 스테이션 본체 단위
- 4 "주변 동축 척
- X, Y 단계 (여행 50x50mm, 고급 모션)
2.현미경 (최대 : 100X)
- 접안 렌즈 : 20X - 줌 : 0.7 ~ 5 배
- 총 배율 : 100X (최대)
3. 마이크로 포지셔너 바디 단위
- 머니퓰레이터의 LM 리드 가이드,마이크로 미터 손잡이
- 자기베이스 - 해상도 : 2 ㎛, 여행 : 6 ㎛
4. 위치 추적 홀더 : C_type - TRX 케이블 2m, TRX 어댑터
5. 일회용 프로브 포인트 0.5 ㎛
6. 진공 펌프 : 실험실을위한 저소음
7. 다크 방패 box_Air Shoba 유형
- 치수 : 700 (W) X 700 (D) X 700 (H) - 4 축 (F) 축에 (F) _Plate 판넬
8. 메인 프레임 :
- 윈도우 XP OS와 PC 기반의 악기
9. 높은 전원 소스 / 측정 단위
- 현재 소스 범위 : 1A 100nA로
- 현재 소스 해상도 (Min.) : 5pA
- 현재 측정 해상도 (Min.) : 100fA
- 전압 소스 범위 : 200mV ~ 200 V
- 전압 소스 해상도 (Min.) : 5μV
- 전압 측정 해상도 (Min.) : 1μV
* 조명-기술개발
* I/V Probing
* 반도체의 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설전류측정, 브레이크 다운 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명예측, Hot Carrier Test 등 다양한 파라메터를 측정
4 inch Vacuum Chuck
Microscope : 10~80x, Zoom Control
X/y Stage Micro Motion Control
Noise Level : ~3 pA 이하
Vacuum Pump : 전용 저소음
Probe Tip : 0.5um , 0.3um