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SNE-4500M
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2013-02-28
78,340,900원
원
본 장비는 미세물질을 확대하여 시료의 표면을 관찰할 수 있는 장비이며, 초소형으로 제작되어 반드시 테이블 위에 올려놓고 사용할 수 있는 Table-top Scanning Electron Microscope임.
* 상세 규격
1) 분해능 : 5㎚(SEI) (유효 7nm) / 20nm(BSEI)
2) 배율 : 30x ~ 100,000x (유효배율 60,000x 보장)
3) 영상 : 이차 전자 영상(SEI), 후방산란전자 영상(BSEI)
4) 빔 주사단계 : High Speed Mode, Low Speed Mode, Photo Mode 1, 2,3
5) 가속전압 : 5kv ~ 30kV
6) 전자총 : 텅스텐 필라멘트, 카트리지 교환 방식
- 필라멘트 Life time Display (사용시간, 교환주기, Dowd time)
7) 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈
8) 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈
9) 비점장치 : 8극 전자기장 형
10) 이차전자 검출 : E-T Detector
11) 후방산란전자 검출 : Solid state Detector (4채널)
12) 관찰모드 : Standard Mode / Charge-up reduction mode
12) 영상이동 : 4극 전자기장형
13) EDS : 추가 장착 가능
14) 스테이지시스템 : 스테이지(X, Y, R - 3축)
- 이송거리 (X: 35㎜, Y: 35mm, Rotation : 360°)
- 최대 시료 크기 : 50mm, 최대 샘플 높이 : 30mm
15) 자동화기능 : 자동 Contrast & Brightness, 자동 초점, 자동 비점 조정
17) Working Distance : 8㎜
18) 주사방식 : High Speed Mode (320*240) : 10frame / 실시간 Preview
Low Speed Mode (640*480) : 2frame/5s
Photo Mode1 (1280*960) : 20s
Photo Mode2 (2560*1920) :40s
Sampling Photo mode3 : min
19) 스팟모드 : Position Selectable
20) 전자빔 이동 : X, Y Image Shift (100㎛)
21) 진공시스템 : 전 자동화 형태로 구성 (저 진공 + 고 진공 Dual System)
초기진공 : Rotary Pump / 100Liters/min
고진공 : Turbo Molecular Pump / 80Liters/sec
(고진공 시간 : Start up in 1분 40초 / 진공해제 : 40sec)
- High Vacuum + Low Vacuum System (Multi mode)
22) 제어시스템 : SEM Control PC(Desktop PC), Intel® i3이상
메모리(2GB), HDD(500GB)운영체제 - 윈도우 7, 인터페이스 : USB2.0
23) 소프트웨어 : 다양한 타입의 이미지 파일 Open 가능,
이미지에 대한 저장, 이미지에 대한 다양한 촬영저장정보 설정
길이 등 TEXT Measuring 기능
저장된 이미지를 불러와서 길이, TEXT 등 Measuring
명암&밝기 등 수정 S/W 프로그램 제공(Nanoeye DB)
24)Dimension : * 설치공간 : 가로(700) x 세로(700) 이내
25)설치환경 : 온도 - 20℃± 5℃
: 습도 - 80% 이하
: 전원 - Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz
* 부속품
1) Tungsten filament cartridge : (6 pcs/box)
2) 샘플 홀더 : 15mm dia (10pcs/set), 25mm dia (10pcs/set),
15mm 45˚ tilt(5pcs/set), 15mm 90˚ tilt(5pcs/set)
3) 로터리 펌프 오일 : 1 litter/bottle
4) Isopropyl 알코올 : 500㎖
5) 진공 greese : 진공 sealing compound
6) Silver paste (30g)
7) 전도성 테이브 (1roll)
8) 메뉴얼 (Book or CD), SEM 복구 프로그램 CD
* 용도
1) 초소형 SEM으로써 공간의 설치환경 해소와 이동이 편리하며 사용이 간편함.
2) 최적의 운영환경을 단지 키보드와 마우스만을 이용함으로서 보다 쉽게 구성할 수 있음.
3) SEM의 분해능은 5.0nm임
4) 관찰에 따른 모든 데이터는 항상 모니터링 되어 지며 또한 획득한 이미지는 자동화된 컴퓨터 시스템에 의해 보다 쉽게 저장할 수 있음.
5) 샘플의 이동 관찰시 초점과 배율의 흐트러짐이 없이 관찰이 가능.
6) BSE Detector 및 Low Vacuum 모드를 통하여 시료의 전처리(코팅)없이 손쉽게 영상구현이
영상구현이 가능함.
7) 고진공 도달시간이 1분대 구현으로 2분이내 영상관찰이 가능하며,
진공해제 시간이 40초 이내로 신속한 영상관찰에 용이.
8) 2차 전자(SE)와 후방산란전자(BSE) 디텍터가 함께 장착되어 있어 분석기법에
다양함을 지니고 있음.